Publisher's Synopsis
В нашу эпоху электронные устройства, такие как мобильные телефоны, компьютеры, ноутбуки, датчики и многие другие, стали необходимы людям для поддержания здоровья, приятного образа жизни, быстрого и легкого выполнения задач. Для удовлетворения потребностей людей были разработаны различные типы температурных датчиков, биосенсоров, фотосенсоров и т.д. Все эти устройства имеют внутри себя микросхемы, изготовленные с использованием диодов, транзисторов, логических затворов и микросхем. Для нанесения рисунка на подложку, которая используется для дальнейшей разработки этих устройств, применяется техника, известная как литография. В данной работе мы сделали обзор различных типов литографических технологий, таких как оптическая литография, экстремальная ультрафиолетовая литография, электронно-лучевая литография, рентгеновская литография и ионно-лучевая литография. Обсуждается эволюция этих методов с течением времени и их применение при изготовлении устройств. Также обсуждаются различные инструменты экспонирования, разработанные в последнее десятилетие для повышения разрешения устройств. Обсуждаются химически усиленные и нехимически усиленные резисты с их связью и толщиной.
